PFA花篮 PFA花篮（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花蓝 ，铁氟龙卡匣 ， 铁氟龙晶舟盒 ，铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。 二、参数 名称        规格        耐温性        应用 PFA花篮 PP Cassette         2寸        -200~260℃        酸碱传输制程         4寸                        6寸                三、特点 1.耐腐蚀：耐受强酸强碱 2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输 3.耐高低温：-200~260℃ 4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无关； 5.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb； 6.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染 7.化学性能稳定 公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验，公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发，截止目前，公司推出的光伏用--太阳能硅片花篮，太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花篮。 南京滨正红仪器有限公司 夏晴晴